在上海临港，一家名为弥费科技（上海）股份有限公司（简称“弥费科技”）的企业，正悄然引领着中国自动物料搬运系统（AMHS）的革新之路。上证报记者近日探访了这家公司，与公司创始人、董事长缪峰进行了深入交流。
早在上世纪90年代，半导体制造业就迎来了“黑灯工厂”的时代，其中，以天车（OHT）为核心的AMHS系统，成为了半导体制造流程中的关键一环。然而，长久以来，全球90%以上的AMHS市场份额一直被日本的村田和大福所垄断。
走进弥费科技的展厅，一条长达2公里的轨道映入眼帘，轨道上，几十辆小车灵活穿梭，仿佛在进行一场精密的舞蹈。这些小车正是天车系统的核心，它们如同人体血管般，贯穿于半导体制造的每一个环节。缪峰介绍，随着半导体晶圆厂和先进封装厂自动化程度的提升，AMHS的重要性日益凸显，而天车系统正是其中的核心设备。
面对日本对部分天车零部件的出口管制，国内发展AMHS的需求变得愈发迫切。对此，弥费科技给出了自己的答案——新一代天车系统产品“天帆系列”。缪峰自豪地表示，天帆系列在精度、稳定性等关键指标上，已经全面对齐甚至超越了国际同类产品。4月2日，弥费科技正式发布了这一解决方案，通过多方面的创新设计，实现了产品力的全面提升。
天帆系列天车的直行速度达到了每秒5.5米，居于全行业领先地位；车体厚度更是仅有895mm，比上一代产品薄了120mm，比市面上最先进的竞品也薄了90mm。这一系列的创新成果，意味着在晶圆厂核心系统装备领域，国内设备又补齐了一块短板。作为目前国内唯一通过8英寸及12英寸晶圆厂整厂验证的AMHS全方案供应商，弥费科技已经具备了显著的后发优势。
自2014年成立以来，弥费科技在短短几年内取得了飞速发展。2018年正式开启AMHS业务后，公司连续开发了数十款软硬件产品，进入了全球近50家晶圆厂，并成功验收了国内首家12英寸晶圆厂整厂AMHS系统。这一系列的成就，得益于公司采用最新理念和技术进行产品设计，自研控制器等核心零部件，构建完整国内供应链，以及深度理解客户需求，实现产品快速迭代。
在知识产权方面，弥费科技也取得了显著成果。公司申请及已授权知识产权270余项，其中已授权发明专利53项。同时，公司还主导制定了中国首个半导体天车系统标准，并在海外申请了60余项知识产权，产品通过了20余项国际标准认证。
凭借“硬件+软件+服务”的一体化交付能力，弥费科技的AMHS系统在价格、安全、服务等多个方面都具有显著优势。随着半导体制造工艺升级、12英寸晶圆产能提升以及工厂自动化需求增加，AMHS市场呈现出更快的增长趋势。缪峰表示，公司将继续深耕国内外市场，助力晶圆“智”造，迎接更广阔的发展空间。
